Halvledarens kvartsrörsrengöring består av en huvuddel, rengöringstank, flytande lagringstank, rörledningssystem, avgassystem, pneumatiskt system och elektrisk styrsystem. Rengöringsprocessen inkluderar: pre - rengöring, bubblande betning (HF/HCl), rent vattenöverflödesrengöring och avfallssyra/avloppsvattenutsläpp. Syralösningen levereras av ett centralt syratillförsel -system.
Viktiga funktioner inkluderar
Automatisk dispenserings- och påfyllningsfunktioner
Utbytbar cirkulation mellan tvätttank och reservoar för effektiv kemisk återanvändning
Tankfunktioner: Detektion av vätskenivå (med larm för höga/processer/tomma nivåer), kväve trumfunktion, sprayfunktion, lågnivådetektering och ren vattennivådetektering
Roterande/rullande funktion för kvartsrör under rengöring (förhindrar rörförskjutning och skador)
Justerbar sylt och vatten tvättnivån höjder
Kemisk konstant tryckbehållare med 3+ Nivåskydd
Produktparametrar
1. Produktionsflöde:
Vagnsbelastning → rörrotation i korg → kemisk tvätt → kemisk pump till syrlig lagringstank → DIW -rengöring → vagnavlastning
2.Major Material:
Metallram med PP -skal
Tankmaterial: PPN eller PVDF
3. Transport:
Robot armtransport
Produktfunktioner och applikationer
Designad för φ540 × 4000 mm kvartsrör
Avlägsnar effektivt föroreningar från kvartsrörsytor
Produktinformation
1. Justerbara tidpunkter för alla rengöringsprocesser (betning, blötläggning, rengöring av överflöd, spraysköljning, bubblande och intervall)
2. Konferenserbara ren/cykelrengöringstider via pekskärm (1-sekunders noggrannhet)
3.Funktioner:
Flera rengöringsrecept förvaring och återkallelse
Automatisk kvartsrörsbelastning/lossning
Rotationsfunktion
200 kg+ kapacitet
Separat syratillförsel i rengöringstank
Utbytbar sprutning mellan rengöring/flytande lagringstankar
Reservoar Direct Drain Function
Applikationsscenarier
◇ I juni 2024 slutförde Semiconductor Quartz Tube Cleaner Assembly och började testa.
Populära Taggar: semi - dirigentkvartstädare, China semi - dirigentkvarts tuben rengöringstillverkare
